新聞中(zhōng)心

高純氣體(tǐ)管道系統及其附件的材料進行選擇

高純氣體(tǐ)管道中(zhōng)的所有高純淨氣體(tǐ)必須通過管道輸送到儀器的使用點（POU）,除氣體(tǐ)産生(shēng)或淨化設備的精度外(wài)，它還在很大(dà)程度上受到管道系統的許多因素的影響。 因此，管道的選擇應符合相關行業原則，并注明管道。

高純氣體(tǐ)的管道輸送，合理設計供氣系統，正确選擇管件和附件，正确安裝和合格試驗，是輸送高純氣體(tǐ)到氣點、保證質量的關鍵，而且對生(shēng)産過程中(zhōng)産生(shēng)的高純度氣體(tǐ)也有具體(tǐ)的要求。從微米工(gōng)藝到亞微米和深亞微米（小(xiǎo)于0.35 g. m）工(gōng)藝，需要達到10 ppm，因此，管道材料的特性必須滿足高純度和超高純度氣體(tǐ)的要求。

1.透氣性

氣體(tǐ)從高壓（或分(fēn)壓）側向低壓（或分(fēn)壓）側滲透的現象問題稱爲氣體(tǐ)進行滲透。由于環境空氣中(zhōng)氧和氮的分(fēn)壓最大(dà)，氣體(tǐ)以及分(fēn)子水平相對規模較小(xiǎo)，所以對于管道施工(gōng)材料對氣體(tǐ)的滲透性研究主要表現爲氧和氮的滲透性。一(yī)般企業來說，對氧氣滲透性的測試有很多。不同學習材料的氧氣滲透率（ppm）材料在大(dà)氣中(zhōng)的氧氣滲透率。不鏽鋼管O銅管O聚丙烯管1l聚四氟乙烯管12普通鋼管203從表中(zhōng)可以明顯看出，如果需要我(wǒ)們自己選擇一(yī)些不合格的管道工(gōng)程材料管理不當，無論現在我(wǒ)們應該采取學生(shēng)什麽方法淨化技術措施發展都是沒有用的。

2.除氣率

在熔煉過程中(zhōng)形成的管材料的晶間或晶格中(zhōng)存在的雜(zá)質如氮、烴等。 在輸送高純度氣體(tǐ)期間，這些雜(zá)質緩慢(màn)釋放(fàng)并污染高純度氣體(tǐ)，特别是雜(zá)質高于ppb的那些。 通常，低碳不鏽鋼管具有非常低的除氣速率。

3.吸附

因爲水和其他雜(zá)質是極性分(fēn)子，它們具有很強的吸附性，因此在輸送高純度氣體(tǐ)污染時很容易使用這些材料。除了用于輸送低于百萬分(fēn)之一(yī)百萬以下(xià)的氧氣的銅管外(wài)，高純度氣體(tǐ)不使用銅管和塑料管。橡膠或塑料材料（包括聚四氟乙烯）不得用于氣體(tǐ)接觸到的墊圈和填充物(wù)。

4.表面進行粗糙度和耐磨性

爲了能夠保證企業輸送氣體(tǐ)的純度，要求進行管道施工(gōng)材料的内表面形成具有一(yī)個非常高的光潔度，可以有效防止環境污染土壤顆粒和水分(fēn)停留在管壁上，并且在吹掃時很容易被吹出。

5.耐蝕性

在微電子生(shēng)産中(zhōng)，經常使用一(yī)些高腐蝕性氣體(tǐ)。 此時必須使用耐腐蝕的管道，否則管道會被腐蝕。 輕薄的表面會出現鏽點，重的管道會出現大(dà)面積的剝離(lí)穿孔，不僅污染氣體(tǐ)，還會導緻安全事故。

6.内表面處理

爲了提高管道材料的性能，數據和實踐證明，表面處理後。管子的粗糙度降低了。通貨緊縮率降低。表面的吸附容量減小(xiǎo)。

7.管道材料和連接

純度在99.99％以内的氣體(tǐ)管道應采用10 ＃或20 ＃無縫鋼管（鍍鋅或淨化内表面）和銅管。鍍鋅管通過螺紋連接，這些管子是通過焊接連接起來的。可以使用對焊、承插焊或套筒焊，管道焊接連接，内壁無疤對焊，在專用潔淨室進行高純氩氣保護焊。

8.管道閥門和連接

氣體(tǐ)進行管道中(zhōng)常用球閥、隔膜閥和波紋管閥，根據不同氣體(tǐ)産品純度、毒性和易燃易爆性的要求我(wǒ)們選擇一(yī)個合适的閥門，可采用這種法蘭之間連接。法蘭墊片是軟金屬或者墊片和聚四氟乙烯墊片。