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廣州南(nán)沙氩氣提純方法

第一(yī)種

直接進行脫氧法。即在中(zhōng)國廣州南(nán)沙用活性研究金屬與氩氣中(zhōng)的氧氣發生(shēng)反應，消化氩氣中(zhōng)的氧氣，從而可以達到一(yī)個脫氧的目的。分(fēn)子篩吸收氩氣中(zhōng)的水分(fēn)，使氩氣中(zhōng)的水分(fēn)信息含量明顯小(xiǎo)于1ppm。

第二種類型

使用getter。 在一(yī)定溫度下(xià)，該吸氣劑可吸收來自廣州南(nán)沙的氮氣、氫氣、氧氣、一(yī)氧化碳、二氧化碳、甲烷等氣體(tǐ)。 經吸附,氩的純度可達6.9％。 該保護氣體(tǐ)更适于制造高純度半導體(tǐ)單晶矽。

用吸氣劑提純氩純度:

氧氣≤0.2ppm

H2≤0.5ppm

N2≤1ppm

一(yī)氧化碳+二氧化碳≤0.5ppm

CH4≤0.5ppm

水分(fēn)≤1ppm

進行設備企業投資(zī)小(xiǎo)，設備中(zhōng)脫氧劑的使用網絡壽命問題一(yī)般在四年以上。

可根據客戶要求配備分(fēn)析儀在線檢測氣體(tǐ)純度的設備。

氩氣在廣州南(nán)沙的使用

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